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メンテナンスサービス(ポンプオーバーホール他)

メンテナンスサービス(オーバーホール、移設)

弊社では弊社製・他社製に係わらず、蒸着設備のオーバーホールサービスを、専門の技術者が責任をもって行っております。

ポンプオーバーホール、蒸着装置オーバーホール

蒸着装置真空槽、排気ポンプあるいは蒸着源のオーバーホールを行うことで、蒸着装置本来の性能を取り戻すことができます。また、定期的に蒸着装置のオーバーホールを行うことによりトラブルが減少し、常に安定した生産ができます。

実績(ポンプオーバーホール、蒸着装置オーバーホール)

  • 蒸着装置:SID-1150D、ACE-1300DSP、ACE-1900D、CES-354 他
  • ポンプ類:拡散ポンプ(各種)
    ロータリーポンプ(丸山真空、神港精機、エドワーズ 他)、メカニカルブースターポンプ(アルバック、神港精機、エドワーズ 他)
    クライオポンプ(アルバック)
 
※装置と場所のご連絡をいただければ、お見積り致します。
※対応出来かねる装置等もございます。

蒸着装置移設

真空蒸着装置の引越し作業を行います。装置の解体、移動、据付、組み立て後の調整まで専門の技術者がサポートさせていただきます。
工場の移転、工程変更による装置の移設、レイアウトの変更などで装置の移設をご検討されている方はお気軽にご相談ください。迅速にお見積もりをいたします。
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